科研条件
科研条件
图1 多管式化学气相沉积系统
图2 分段式化学气相沉积系统
图3 强磁场辅助分子束外延系统
图4 磁控溅射系统
图5 极低温强磁场STM系统(350mk,11T)
图6 原位半导体纳米结构
综合测试系统(CL,SEM, 双探针STM)
图7 原子层沉积镀膜系统
图1 多管式化学气相沉积系统
图2 分段式化学气相沉积系统
图3 强磁场辅助分子束外延系统
图4 磁控溅射系统
图5 极低温强磁场STM系统(350mk,11T)
图6 原位半导体纳米结构
综合测试系统(CL,SEM, 双探针STM)
图7 原子层沉积镀膜系统